檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="瑞萊"
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以往相位量測法,常用於表面連續變化的量測,而對於階級跳動表面(例如光柵),則不易進行。本研究利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,並結合光學顯微鏡,針對奈米級的光柵量測其線寬及階高。干涉術中加入…