簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="瑞萊"


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    相位移干涉術用於微奈米階級之光柵量測
    • /97/ 碩士
    • 研究生: 余柏翰 指導教授: 曾垂拱
    • 以往相位量測法,常用於表面連續變化的量測,而對於階級跳動表面(例如光柵),則不易進行。本研究利用現有的設備建構一組改良式麥克森干涉儀,並結合光學顯微鏡,針對奈米級的光柵量測其線寬及階高。干涉術中加入…
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